全自动设备

全自动胶键合机

简述 Briefly describe:

在胶键合工艺过程中,胶作为中间层将两衬底键合到一起。键合胶通常被涂覆到其中一片晶圆表面或两片晶圆表面。最常用的胶涂覆方式是旋转涂覆,或者是喷涂涂覆。以永久键合胶或临时键合胶为中间层,将两片衬底(硅、玻璃、陶瓷、金属或其它单晶材料)通过加热加压的方式贴合在一起,以满足封装或后续减薄等工艺需求。兼容贴膜功能,适合 SU8 干膜、电镀干膜、键合干膜等。

 


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