键合系列

热压键合机

简述 Briefly describe: 

热压键合是一种通过施加特定温度与压力,使两片晶圆(如硅片或其他衬底)在界面处实现永久键合的工艺。该工艺可借助中间金属或介质层,也可进行直接键合。在温度与压力的共同作用下,界面处的原子或分子发生紧密接触与相互扩散,进而形成共价键、金属键或范德华力等作用。当界面处的键合面积和强度在热压作用下达到一定程度时,两片衬底即可结合为一个牢固的整体。   



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