简述 Briefly describe：
光刻机利用特定波长的光源对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，曝光后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。
