简述 Briefly describe：
立式喷胶机是一种能够覆盖崎岖形貌的光刻胶涂覆设备，同时在厚胶涂覆和节省光刻胶方面有明显优势。喷头将光刻胶雾化成雾滴，溅到衬底表面，热板加热将溶剂蒸发，使树脂留在衬底表面，形成相对均匀的光刻胶覆盖。
