简述 Briefly describe：
样品被真空吸附（或机械方式固定）于夹具上并旋转，显影液通过显影喷头喷射到样品上。显影完成后通过清洗液喷头对样品进行冲洗，冲洗之后，提高样品的旋转速度并开启氮气吹扫，将其甩干。
